校正的基本步驟：
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正
1、先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時。
3、準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
（1）取樣時間都設(shè)置為00：01：00
（2）取樣次數(shù)都設(shè)置03
（3）取樣模式都設(shè)置為Auto
（4）間隔時間都設(shè)置為00：00：05
（5）讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。
6、打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。
8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復(fù)該測試。
9、以上校正只是對比校正，尚用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。